FTS需在原数控系统上增加专用伺服控制系统，由此增加了系统的复杂度。由于采用随动方式，主动的主轴位置控制精度要求相对不高，但系统的随动精度性能要求很高。某些类光学自由曲面元件虽然曲面矢高较大，但曲面变化较为平缓。加工这类曲面，刀具直线运动速度和加速度都不大。这时，可采用慢速拖板伺服（S3—Slow Slide Servo）超精密加工技术，即XZC联动加工。精加工收费服务热线。

       为了获得光学级的超精密加工质量，除了要求直线轴具有很高的控制分辨率和精度外，还特别要求C轴具有极高的角度控制分辨率（如达0.06″）和精度。航空航天设计中，减少阻力是的。以前的、飞机光学系统设计师只能采用球、平面形状光学零件设计技术，而球、平面形状会引入空气阻力。飞机和上符合理想设计的保形窗口会大幅度地降低空气阻力。精加工收费服务热线。

      超精密机床主轴承载工件尺寸、重量大，一般宜采用液体静压主轴。液体静压主轴阻尼大、抗振性好、承载力大，但主轴高速时发热多，需采取液体冷却恒温措施。液体静压主轴回转精度可达0.1μm。工件主轴用于速度控制模式时，主轴角度编码器分辨率要求不高。当用于XZC位置控制模式时，为了保证加工工件的表面质量，编码器分辨率要求非常高，可达0.06″。精加工收费服务热线。

       为了保证主轴精度和稳定性，无论气压源或液压源都需进行恒温、过滤和压力精密控制处理。早期的超精密机床采用气浮静压导轨技术。气浮静压导轨易于维护，但阻尼小，承载抗振性能差，现已较少采用。闭式液体静压导轨具有高抗振阻尼、高刚度、承载力大的优势。国外主要的超精密加工现在主要采用液体静压导轨。超精密的液体静压导轨的直线度可达到0.1μm。精加工收费服务热线。

      在小的尺度方面，太赫兹系统中的微型波纹喇叭天线（毫米级复杂形状内腔、微米级加工精度）是未来所需解决的超精密加工难题之一。超精密微机械加工机床的关键技术不在机床自身尺寸。由于运动精度要求，这种机床尺寸不能做得太小,因而其关键技术在于机床结构，如工件的装夹，在位测量、调整、对刀、微型超精密刀具等。精加工收费服务热线。

        在加工面形的复杂度方面，由于太赫兹波束控制元件表面电磁特性，其设计元件面形更加复杂，如非对称赋形自由曲面等。由于各种条件限制，超精密机床不可能做得太大。对于硬脆材料的超大型应用，如深空望远镜拼接式离轴非球面镜片可用相应尺寸的多轴超精密自由曲面磨床加工解决，但对于太赫兹应用的金属基（如铝基等）相同尺寸或更复杂面形元件，这种机床就不适宜。精加工收费服务热线。